플랜지(안) | CF | 63CF | 권장 전진공 압력 | 아빠 | <50 |
전진공 펌프 | GHD-031B(오일)(건식 펌프 옵션) | ||||
플랜지(아웃) | ISO-KF | DN25 | 냉각 유형, 표준 | 공기 | |
펌핑 속도 | 리터/초 | N2:62 | |||
그:55 | |||||
H2:34 | 입력 전압/주파수 | V/Hz | 220±22/50 | ||
아르:65 | 환경 온도(℃) |
공기 냉각 |
5℃-32℃ |
||
압축비 | N2:109 | ||||
그:105 | 장착 위치 | 수직의 | |||
H2:104 | 컨트롤러 모델 | TCP-100 | |||
아르곤:109 |
L*W*H |
mm | 400×300×260 | ||
궁극의 압력 | 아빠 | CF: 5×10-5 | |||
무게 | 킬로그램 |
21 |
펌프 스테이션 FJ-80, 소형 오일 또는 건식 백업 펌프 옵션:
터보 펌핑 스테이션은 클린 하이(Ultrahigh) 획득 장비의 일부이며, 진공 지식과 원리에 따라 분자 펌프와 기계 펌프로 주로 구성되는 진공 획득 시스템입니다. 이 사양의 제품에는 해당 펌핑 속도가 62L/s인 터보 펌핑 스테이션인 FJ-80이 포함됩니다. 배압 오일 펌프의 펌핑 속도는 0.5L/s이고 배압 건식 펌프의 펌프 속도는 0.2L입니다. 이 제품은 표면 분석, 가속기 기술, 플라즈마 기술, 연구소, 전기 진공 장치 제조 및 기타 진공 분야의 분야에 널리 적용됩니다.
구성:
액자 | 휴대용 장치 |
분자 펌프 | FF-63/80 |
분자 펌프 제어 기준 치수 |
TC-100 |
배압 펌프 | GHD-031B(오일 펌프) KNF 813.3 ANF(건식 펌프) |
진공 게이지 | WPC400(외부, 옵션) |
전자기 차단 밸브 | 에어택 |
전환 챔버 | DN63/CF35/KF40 (사용자 정의) |
기타 첨부 파일 | 주름관, 후프, 볼트, 블록 밸브, 무산소 동 씰링 링 등 |