장점:
이 시리즈의 펌프는 열악한 환경(고온, 먼지 등)에서 성능이 우수하고 성능이 안정적이고 수명이 길며 유지 보수가 간단하고 작동이 편리합니다.
신청:
주요 응용 분야는 산업용 누출 감지, PVD, CVD, 이온 주입, 진공 전자 부품 제조, Low-E 유리, ITO 유리, 광학 코팅, 태양 전지, 전자빔 용접, 진공로 및 기타 산업입니다.
명세서:
플랜지(안) | DN400 ISO-K | 전체 가스(sccm) | N2:5500 |
플랜지(아웃) KF | DN100 | 그:4000 | |
펌핑 속도(L/s) | N2:3500 | H2:3200 | |
그:2650 | 아르:2100 | ||
H2:1280 | 회전 속도(rpm) | 13500 | |
아르:3200 | 가동 시간(분) | ≤18 | |
압축비 | N2:108 | 냉각 유형, 표준 | 물 |
그:103 | 냉각수 소비량(L/min) | ≥1 | |
H2:102 | 냉각수 온도(℃) | ≤25 | |
아르곤:108 | 전원 연결: 전압(V AC) | DC24/AC220 | |
극한 압력(Pa) | 6×10-6 | 최대 소비 전력(W) | ≤1100 |
최대 연속 전진공압(Pa) | 100 | 컨트롤러 모델 | FD-III |
최대 전진공 압력 | N2:300 | 무게(kg) | 130 |