터보 분자 펌프, F-400/3500B, 수냉식, 오일 윤활

간단한 설명:

KYKY는 컴팩트한 구조, 편리한 작동, 유연한 설치, 넓은 적용 범위 및 안정적인 성능의 장점을 가진 컴팩트하고 고성능의 오일 윤활 터보 펌프를 개발했습니다.


제품 상세 정보

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장점: 

이 시리즈의 펌프는 열악한 환경(고온, 먼지 등)에서 성능이 우수하고 성능이 안정적이고 수명이 길며 유지 보수가 간단하고 작동이 편리합니다.

신청: 

주요 응용 분야는 산업용 누출 감지, PVD, CVD, 이온 주입, 진공 전자 부품 제조, Low-E 유리, ITO 유리, 광학 코팅, 태양 전지, 전자빔 용접, 진공로 및 기타 산업입니다.

명세서:

플랜지(안)  DN400 ISO-K 전체 가스(sccm) N2:5500
플랜지(아웃) KF DN100 그:4000
펌핑 속도(L/s) N2:3500 H2:3200
그:2650 아르:2100
H2:1280 회전 속도(rpm) 13500
아르:3200 가동 시간(분) ≤18
압축비 N2:108 냉각 유형, 표준
그:103 냉각수 소비량(L/min) ≥1
H2:102 냉각수 온도(℃) ≤25
아르곤:108 전원 연결: 전압(V AC) DC24/AC220
극한 압력(Pa) 6×10-6 최대 소비 전력(W) ≤1100
최대 연속 전진공압(Pa) 100 컨트롤러 모델 FD-III
최대 전진공 압력 N2:300 무게(kg) 130

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