장점:
1. 열악한 환경(고온, 먼지 등)에서 우수한 성능.
2. 안정적인 성능과 긴 수명
3. 간단한 유지 보수, 편리한 작동
신청:
오일 윤활 터보 펌프는 주로 산업용 누출 감지, PVD, CVD, 이온 주입, 진공 전자 부품 제조, 로이 유리, ITO 유리, 광학 코팅, 태양 전지, 전자 빔 용접, 진공로 및 기타 산업에 사용됩니다.
사양 :
플랜지(안) |
DN150 CF/ISO-K |
최대 연속 전진공압(Pa) |
240 |
플랜지(아웃) KF |
DN40 KF |
최대 전진공 압력(Pa) |
N2:350 |
펌핑 속도(L/s) |
N2:600 |
전체 가스(sccm) |
N2:1200 |
그:380 |
그:880 |
||
H2:240 |
H2:700 |
||
아르:580 |
아르:450 |
||
압축비 |
N2:109 |
회전 속도(rpm) |
36000 |
그:105 |
가동 시간(분) |
≤9 |
|
H2:104 |
냉각 유형, 표준 |
물/공기 |
|
아르곤:109 |
냉각수 소비량(L/min) |
≥1 |
|
극한 압력(Pa) |
CF: 6×10-8 |
냉각수 온도(℃) |
≤25 |
ISO-K: 6×10-7 |
전원 연결: 전압(V AC) |
220±22 |
|
컨트롤러 모델 |
TCP-II |
최대 소비 전력(W) |
≤500 |